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論文・著書情報


タイトル
和文:AlOx/Si(100)界面特性のECRスパッタ条件依存性 
英文: 
著者
和文: 中光豊, 中港努, 内川偉史, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
英文: 中光豊, 中港努, 内川偉史, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第65回応用物理学会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 664
出版年月 2004年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
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開催地
和文:東北学院大学（仙台） 
英文: 

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