Separation by Bonding Si Islands (SBSI) for Adavnced CMOS LSIs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Separation by Bonding Si Islands (SBSI) for Adavnced CMOS LSIs

著者

和文:	T. Yamazaki, S. Ohmi, S. Morita, H. Ohri, J. Murota, M. Sakuraba, H. Omi, T. Sakai.
英文:	T. Yamazaki, S. Ohmi, S. Morita, H. Ohri, J. Murota, M. Sakuraba, H. Omi, T. Sakai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2004Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices

巻, 号, ページ

pp. 13-16

出版年月

2004年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2004Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices

開催地

和文:
英文:	Sasebo, Japan