Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array

著者

和文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.
英文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology

巻, 号, ページ

Vol. 5276 pp. 240-248

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: