超微細加工プロセス用完全非接触ＸＹ運動テーブルシステムの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	超微細加工プロセス用完全非接触ＸＹ運動テーブルシステムの開発
英文:	A Developed Perfect Non-contact Type XY table System for Ultrafine Machining Process

著者

和文:	谷口浩一, 吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
英文:	Taniguchi, K., Yoshioka, H., Hashizume, H., Shinno, H..

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:	Proceedings of JSPE 2005 Autumn Annual Assembly

巻, 号, ページ

pp. 43-44

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	２００５年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	京都大学
英文: