Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography

著者

和文:	宋仁皓, Smruti Mohanty, 渡邊正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	INHO SONG, Smruti Mohanty, MASATO WATANABE, Tohru Kawamura, AKITOSHI OKINO, KAZUHIKO HORIOKA, HOTTA Eiki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J.Plasma Fusion Res.

巻, 号, ページ

Vol. 81 No. 9 pp. 647-648

出版年月

2005年9月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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