マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロセンサ搭載工具によるナノ加工
英文:	Nano-machining Using a Tool with Microsensor

著者

和文:	松下幸生, 吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
英文:	Yukio MATSUSHITA, Hayato YOSHIOKA, Hitoshi HASHIZUME, Hidenori SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会・精密工学会山梨講演会講演論文集
英文:	JSME-JSPE Yamanashi District Conference

巻, 号, ページ

Vol. 050 No. 4 pp. 113-114

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会・精密工学会山梨講演会
英文:

開催地

和文:	山梨大学
英文: