ナノ加工システム用超精密ＸＹ位置決めテーブルシステム

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工システム用超精密ＸＹ位置決めテーブルシステム
英文:	Ultraprecision X-Y Positioning Table for Nano Manufacturing Systems

著者

和文:	吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲, 進士忠彦, 佐藤海二.
英文:	Hayato YOSIOKA, Hitoshi HASHIZUME, Hidenori SHINNO, Tadahiko SHINSHI, Kaiji SATO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第５回生産加工工作機械部門講演会講演論文集
英文:	Proceedings of the 5th Manufacturing & Machine Tool Conference, Japan Society of Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. ４ No. ３ pp. １０３－１０４

出版年月

2004年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会第５回生産加工・工作機械部門講演会（生産と加工に関する学術講演会２００４）
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開催地

和文:	大阪大学吹田キャンパス（吹田）
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