A Planar Nano-Positioning Table System for Advanced Machine Tools

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Planar Nano-Positioning Table System for Advanced Machine Tools

著者

和文:	Yoshioka, H., Komatsu, K., Hashizume, H., 新野秀憲, Shinshi, T., Sato, K..
英文:	Yoshioka, H., Komatsu, K., Hashizume, H., Shinno, H., Shinshi, T., Sato, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting

巻, 号, ページ

Vol. 34 pp. 64-67

出版年月

2004年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Nineteenth American Society for Precision Engineering Annual Meeting

開催地

和文:
英文:	Florida, USA