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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
A Planar Nano-Positioning Table System for Advanced Machine Tools
著者
和文:
Yoshioka, H., Komatsu, K., Hashizume, H.,
新野 秀憲
, Shinshi, T., Sato, K..
英文:
Yoshioka, H., Komatsu, K., Hashizume, H.,
Shinno, H.
, Shinshi, T., Sato, K..
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting
巻, 号, ページ
Vol. 34 pp. 64-67
出版年月
2004年10月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
The Nineteenth American Society for Precision Engineering Annual Meeting
開催地
和文:
英文:
Florida, USA
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.