Micromachined Display Device Using Sheet Waveguide and Multicantilevers Driven by Electrostatic Force

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micromachined Display Device Using Sheet Waveguide and Multicantilevers Driven by Electrostatic Force

著者

和文:	T.Oguchi, M.Hayase, T.Hatsuzawa.
英文:	T.Oguchi, M.Hayase, T.Hatsuzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Trans. on Industrial Electronics

巻, 号, ページ

Vol. 52 No. 4 pp. 984-991

出版年月

2005年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI