InP系HBTコレクタ容量低減の為の金属細線埋込成長における流速増大による表面平坦化

論文・著書情報

タイトル

和文:	InP系HBTコレクタ容量低減の為の金属細線埋込成長における流速増大による表面平坦化
英文:	Tungsten buried growth by using thin flow-liner for small collector capacitance in InP HBT

著者

和文:	宮本恭幸, 石田昌司, 野中俊宏, 山本徹, 古屋一仁.
英文:	Y. Miyamoto, M. Ishida, T. Nonaka, T. Yamamoto, K. Furuya.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1a-ZM-10

出版年月

2005年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会関係連合講演会
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開催地

和文:	埼玉
英文: