Analysis of Resonant Frequency of Fast Scanning Micromirror with Vertical Combdrives

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of Resonant Frequency of Fast Scanning Micromirror with Vertical Combdrives

著者

和文:	和田裕之, Daesung Lee, Stefan Zappe, Olav Solgaard.
英文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Olav Solgaard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers Transaction on Electronics

巻, 号, ページ

Vol. E87-C No. 11 pp. 2006-2008

出版年月

2004年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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