Snap Down Voltage of a Fast-Scanning Micromirror with Vertical Electrostatic Combdrives

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Snap Down Voltage of a Fast-Scanning Micromirror with Vertical Electrostatic Combdrives

著者

和文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Uma Krishnamoorthy, Olav Solgaard.
英文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Uma Krishnamoorthy, Olav Solgaard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics Part2

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 2B pp. L284-L286

出版年月

2004年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: