The Torque of High Speed Scanning Micromirrors with Vertical Combdrives

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Torque of High Speed Scanning Micromirrors with Vertical Combdrives

著者

和文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Olav Solgaard.
英文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Stefan Zappe, Olav Solgaard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics Part2

巻, 号, ページ

Vol. 42 No. 12A pp. L1449-L1451

出版年月

2003年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: