Process for High Speed Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Scanning Mirrors with Vertical Comb Drives

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Process for High Speed Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Scanning Mirrors with Vertical Comb Drives

著者

和文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Uma Krishnamoorthy, Stefan Zappe, Olav Solgaard.
英文:	Hiroyuki Wada, Daesung Lee, Uma Krishnamoorthy, Stefan Zappe, Olav Solgaard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics Part2

巻, 号, ページ

Vol. 41 No. 8A pp. L899-L901

出版年月

2002年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: