Approach to optimize conversion efficiency of discharge-pumped plasma extreme ultraviolet sources

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Approach to optimize conversion efficiency of discharge-pumped plasma extreme ultraviolet sources

著者

和文:	MASNAVIMAJID, 中島充夫, 佐々木明, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	majid masnavi, MITSUO NAKAJIMA, Akira Sasaki, Eiki Hotta, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 87 No. 11 pp. 111502-1－111502-4

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI