Progress in Understanding of Laser-Produced Plasmas for EUV Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Progress in Understanding of Laser-Produced Plasmas for EUV Source

著者

和文:	N.Miyanaga, K.Fujima, S.Fujioka, Y.Fujimoto, H.Fujita, H.Furukawa, K.Hashimoto, T.Hibino, T.Kagawa, T.Kato, T.Kawamura, F.Koike, R.Matsui, R.More, M.Murakami, K.Nagai, M.Nakai, M.Nakatsuka, T.Nishikawa, K.Nishihara, H.Nishimura, T.Norimatsu, T.Okuno, A.Sasaki, K.Shigemori, Y.Shimada, F.L.Sohnatzdef, A.Sunahara, H.Tanuma, Y.Tao, K.Tsubakimto, S.Uchida, M.Yamaura, H.Yoshida, V.Zhakhovskii, Y.Izawa.
英文:	N.Miyanaga, K.Fujima, S.Fujioka, Y.Fujimoto, H.Fujita, H.Furukawa, K.Hashimoto, T.Hibino, T.Kagawa, T.Kato, T.Kawamura, F.Koike, R.Matsui, R.More, M.Murakami, K.Nagai, M.Nakai, M.Nakatsuka, T.Nishikawa, K.Nishihara, H.Nishimura, T.Norimatsu, T.Okuno, A.Sasaki, K.Shigemori, Y.Shimada, F.L.Sohnatzdef, A.Sunahara, H.Tanuma, Y.Tao, K.Tsubakimto, S.Uchida, M.Yamaura, H.Yoshida, V.Zhakhovskii, Y.Izawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Lasers and Electro-Optics Society, 2003. LEOS 2003. The 16th Annual Meeting of the IEEE, 27-30 October, Tsucson,AZ, USA.

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 297-298

出版年月

2003年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Lasers and Electro-Optics Society, 2003. LEOS 2003. The 16th Annual Meeting of the IEEE, 27-30 October, Tsucson,AZ, USA.

開催地

和文:
英文:	27-30 October, Tsucson,AZ, USA.