微細ガス流によるマイクロプラズマの雰囲気ガスとの相互作用

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細ガス流によるマイクロプラズマの雰囲気ガスとの相互作用
英文:	Influence of ambient gas on microplasma with miniature gad flow

著者

和文:	横山拓馬, 山内隆彦, 井深真治, 安岡康一, 石井彰三.
英文:	Takuma Yokoyama, Takahiko Yamauchi, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
英文:	Proceedings of Annual Conference of Fundamentals and Material Society IEE Japan

巻, 号, ページ

pp. 7:2

出版年月

2005年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: