Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films

著者

和文:	S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.
英文:	S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Research Society Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 862

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI