Characterization of a-SiCN:H passivation layer deposited by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using hezamethyldisilazane

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of a-SiCN:H passivation layer deposited by Hot Wire Chemical Vapor Deposition using hezamethyldisilazane

著者

和文:	M.Otsubo, T.Sato, S.Miyajima, A.Limmanee, T.Watahiki, A.Yamada, M.Konagai.
英文:	M.Otsubo, T.Sato, S.Miyajima, A.Limmanee, T.Watahiki, A.Yamada, M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Digest of International PVSEC-15

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Shanghai