Deposition of hydrogenated amorphous silicon near amorphous to  microcrystalline transition regime at low deposition temperature by Hot-Wire CVD method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of hydrogenated amorphous silicon near amorphous to microcrystalline transition regime at low deposition temperature by Hot-Wire CVD method

著者

和文:	K.Sriprapha, S.Hiza, C.Banerjee, A.Yamada, M.Konagai.
英文:	K.Sriprapha, S.Hiza, C.Banerjee, A.Yamada, M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Digest of International PVSEC-15

巻, 号, ページ

Vol. -

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Shanghai