Characteristics of Xenon Capillary Z-Pinch Extreme Ultraviolet Lithography Source Driven by Different dI/dt Discharge Current Pulses

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Xenon Capillary Z-Pinch Extreme Ultraviolet Lithography Source Driven by Different dI/dt Discharge Current Pulses

著者

和文:	宋仁皓, Kazuhiro IWATA, Yusuke HOMMA, Smruti Mohanty, 渡邊正人, 河村徹, 沖野晃俊, 安岡康一, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	INHO SONG, Kazuhiro IWATA, Yusuke HOMMA, Smruti Mohanty, MASATO WATANABE, Tohru Kawamura, AKITOSHI OKINO, KOICHI YASUOKA, KAZUHIKO HORIOKA, Eiki HOTTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 44 No. 12 pp. 8640-8645

出版年月

2005年12月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI