High quality EUV emission from discharge produced plasma source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High quality EUV emission from discharge produced plasma source

著者

和文:	Masato Watanabe, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, A.Okino, Smruti R. Mohanty, Kazuhiko Horioka, E.Hotta.
英文:	Masato Watanabe, Inho Song, Toshiro Sakamoto, Yasunori Kobayashi, A.Okino, Smruti R. Mohanty, Kazuhiko Horioka, E.Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 32nd IEEE Int. Conf. on Plasma Science

巻, 号, ページ

pp. 146

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	USA