Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography

著者

和文:	SONG Inho, MOHANTY R. Smruti, WATANABE Masato, KAWAMURA Toru, OKINO Akitoshi, HORIOKA Kazuhiko, HOTTA Eiki.
英文:	SONG Inho, MOHANTY R. Smruti, WATANABE Masato, KAWAMURA Toru, OKINO Akitoshi, HORIOKA Kazuhiko, HOTTA Eiki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Plasma Fusion Research

巻, 号, ページ

Vol. 81 No. 9 pp. 647-648

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: