Characteristics of Xenon Capillary Z-Pinch Extreme Ultraviolet Lithgraphy Source Driven by Different dI/dt Discharge Current Pulses

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics of Xenon Capillary Z-Pinch Extreme Ultraviolet Lithgraphy Source Driven by Different dI/dt Discharge Current Pulses

著者

和文:	Inho SONG, Kazuhiko IWATA, Yusuke HOMMA, Smruti Ranjan MOHANTY, Masato WATANABE, Toru KAWAMURA, Akitoshi Okino, Koichi YASUOKA, Kazuhiko HORIOKA, Eiki HOTTA.
英文:	Inho SONG, Kazuhiko IWATA, Yusuke HOMMA, Smruti Ranjan MOHANTY, Masato WATANABE, Toru KAWAMURA, Akitoshi Okino, Koichi YASUOKA, Kazuhiko HORIOKA, Eiki HOTTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 44 No. 12 pp. 8640-8645

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: