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論文・著書情報


タイトル
和文:多層Si/SiGe構造におけるSiGe層横方向選択エッチングと多層SOI構造の形成 
英文: 
著者
和文: 仲西知之, 高橋博, 矢橋健一, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
英文: 仲西知之, 高橋博, 矢橋健一, 大見俊一郎, 酒井徹志.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会技術研究報告 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 105    No. 317    pp. 9-12
出版年月 2005年10月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:電子情報通信学会SDM研究会 
英文: 
開催地
和文:東北大学 
英文: 

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