Electrical properties of vacuum annealed La<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films grown by E-beam evaporation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical properties of vacuum annealed La₂O₃ thin films grown by E-beam evaporation

著者

和文:	Y. Kim, K. Miyauchi, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai.
英文:	Y. Kim, K. Miyauchi, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronics Journal

巻, 号, ページ

Vol. 36 pp. 41-49

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI