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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:耐熱性金属との混晶化によるPtSiの仕事関数制御とせり上げsalicideプロセスへの応用 
著者
和文: 大見俊一郎.  
英文: 大見俊一郎.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 121－130
出版年月 2005年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) 2005 日本特別報告会、 Conference Proceedings 
開催地
和文: 
英文:東京コンファレンスセンター飯田橋 

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