分布定数線路を用いた高周波パルス電源とその大気圧マイクロプラズマ生成への適用

論文・著書情報

タイトル

和文:	分布定数線路を用いた高周波パルス電源とその大気圧マイクロプラズマ生成への適用
英文:	High-frequency pulse generator with a distributed constant line and its application to atmospheric microplasma generation

著者

和文:	三上亮, 古屋文崇, 井深真治, 安岡康一, 石井彰三.
英文:	Ryo Mikami, Fumitaka Furuya, Shinji Ibuka, Koichi Yasuoka, Shozo Ishii.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会
英文:

巻, 号, ページ

pp. 47-52

出版年月

2005年10月

出版者

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会議名称

和文:	電気学会プラズマ研究会
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開催地

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