An active aerostatic spindle with an axial positioning actuator for machining ultra-micro scale structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An active aerostatic spindle with an axial positioning actuator for machining ultra-micro scale structure

著者

和文:	進士忠彦, Yusuke Inami, Hitoshi Hashizume, 佐藤海二, 下河邉明.
英文:	Tadahiko Shinshi, Yusuke Inami, Hitoshi Hashizume, KAIJI SATO, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of JSME Int. Conf. LEM 21

巻, 号, ページ

pp. 1016-1019

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: