Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Integrated conical spring linear actuators for tilting-mirror applications

著者

和文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.
英文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005)

巻, 号, ページ

pp. 12-13

出版年月

2005年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Vienna, Austria