An active aerostatic spindle with an axial positioning actuator for machining ultra-micro scale structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An active aerostatic spindle with an axial positioning actuator for machining ultra-micro scale structure

著者

和文:	Tadahiko Shinshi, Yusuke Inami, Hitoshi Hashizume, Kaiji Sato, Akira Shimokohbe.
英文:	Tadahiko Shinshi, Yusuke Inami, Hitoshi Hashizume, Kaiji Sato, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of JSME Int. Conf. LEM 21

巻, 号, ページ

pp. 1016-1019

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Nagoya, Japan