A comparative study on the performance of a xenon capillary Z-pinch EUV lithography light source using a pinhole camera

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A comparative study on the performance of a xenon capillary Z-pinch EUV lithography light source using a pinhole camera

著者

和文:	宋仁皓, Kazuhiro Iwata, Yusuke Homma, Smruti Mohanty, 渡邊正人, 河村徹, 沖野晃俊, 安岡康一, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	INHO SONG, Kazuhiro Iwata, Yusuke Homma, Smruti Mohanty, MASATO WATANABE, Tohru Kawamura, AKITOSHI OKINO, KOICHI YASUOKA, KAZUHIKO HORIOKA, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Plasma Sources Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 15 pp. 322-327

出版年月

2006年4月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI