Hydrogen plasma transport and deposition of films from a solid boron source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hydrogen plasma transport and deposition of films from a solid boron source

著者

和文:	J. S. Cross, S. Komatsu, J. Tanaka, M. Mieno, Y. Suetsugu, J. Sakagucni, Y. Moriyoshi.
英文:	J. S. Cross, S. Komatsu, J. Tanaka, M. Mieno, Y. Suetsugu, J. Sakagucni, Y. Moriyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Mater. Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 32 pp. 3277-3282

出版年月

1997年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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