Etching of diamond(100) surface by atomic hydrogen : real-time observation　by reflection high energy electron deflaction

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Etching of diamond(100) surface by atomic hydrogen : real-time observation　by reflection high energy electron deflaction

著者

和文:	S. Komatsu, K. Okada, S. B. Cho, H. Shigetani, J. Tanaka, Y. Sato.
英文:	S. Komatsu, K. Okada, S. B. Cho, H. Shigetani, J. Tanaka, Y. Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vacuum Science & Technology

巻, 号, ページ

Vol. A16 pp. 749-753

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: