Compositional Inhomogeneity of Diamond-Grown Si Substrates Evaluated by Auger Electron Spectroscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Compositional Inhomogeneity of Diamond-Grown Si Substrates Evaluated by Auger Electron Spectroscopy

著者

和文:	S. Tanaka, K. Ikoma, H. Kiyota, J. Tanak, M. Kamo, Y. Sato.
英文:	S. Tanaka, K. Ikoma, H. Kiyota, J. Tanak, M. Kamo, Y. Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advances in New Diamond Science and Technology(Fourth International Conference on New Diamond Science and Technology)

巻, 号, ページ

pp. 4811994

出版年月

1994年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Advances in New Diamond Science and Technology(Fourth International Conference on New Diamond Science and Technology)

開催地

和文:
英文: