Precise Measurements of Micro-linewidth by using a Micro-Interferometer and a Scanning Electron Microscope

論文・著書情報

タイトル

和文:	集積型マイクロ干渉計と走査型電子顕微鏡を用いた微小線幅の精密測定
英文:	Precise Measurements of Micro-linewidth by using a Micro-Interferometer and a Scanning Electron Microscope

著者

和文:	初澤毅, 豊田幸司, 谷村吉久, 奈良誠, 豊永修司, 原信也, 岩崎裕隆, 近藤一彦.
英文:	初澤毅, 豊田幸司, 谷村吉久, 奈良誠, 豊永修司, 原信也, 岩崎裕隆, 近藤一彦.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Jour. of Japan Soc, of Prec, Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 60 No. 11 pp. 1582-1585

出版年月

1994年

出版者

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会議名称

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開催地

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