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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Oxidation rate and surface-potential variations of silicon during plasma oxidation 
著者
和文: 中村一隆.  
英文: KAZUTAKA NAKAMURA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Phys. Rev. 
巻, 号, ページ Vol. B53        pp. 3993
出版年月 1996年 
出版者
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会議名称
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開催地
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