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論文・著書情報


タイトル
和文:微細はりの振動特性評価によるシリコン酸化膜のヤング率推定 
英文: 
著者
和文: 初澤毅, 岡村康雄.  
英文: 初澤毅, 岡村康雄.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:計測自動制御学会論文集 
英文:Trans.of the Society of Instrumunt and Control Engineers 
巻, 号, ページ Vol. 34    No. 6    pp. 479-482
出版年月 1998年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.9746/sicetr1965.34.479

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