シリコン単結晶の異方性エッチングを用いた表面粗さ基準片 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	シリコン単結晶の異方性エッチングを用いた表面粗さ基準片
英文:

著者

和文:	初澤毅, 井上尚紀, 早瀬仁則, 坂野憲幾.
英文:	初澤毅, 井上尚紀, 早瀬仁則, 坂野憲幾.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	計測自動制御学会論文集
英文:	Trans.of the Society of Instrumunt and Control Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 34 No. 10 pp. 1345-1348

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI

https://doi.org/10.9746/sicetr1965.34.1345

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