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論文・著書情報


タイトル
和文:基板加振式プラズマエッチングの研究(第1報) 基本装置の試作と加振効果の検証 
英文: 
著者
和文: 初澤毅, 渡辺直哉, 早瀬仁則.  
英文: 初澤毅, 渡辺直哉, 早瀬仁則.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文:Jour. of Japan Soc, of Prec, Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 65    No. 9    pp. 1335-1339
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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