高速ナノメートル位置決めテーブルシステムの開発と基本特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	高速ナノメートル位置決めテーブルシステムの開発と基本特性評価
英文:	Development of High Speed Nanometer Positioning Table System and Its Performances Evaluation

著者

和文:	橋詰等, 新野秀憲.
英文:	橋詰等, HIDENORI SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（C編）
英文:	Transactions of the Japan Society for Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 64 No. 626 pp. 4103-4108

出版年月

1998年

出版者

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会議名称

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開催地

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