Nitrogen Inocorporation and Electric Properties of photo CVD Amorphous Silicon Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nitrogen Inocorporation and Electric Properties of photo CVD Amorphous Silicon Films

著者

和文:	A. Takano, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.
英文:	A. Takano, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Report of Research Laboratory of Engineering Materials, Tokyo Institute of Technology

巻, 号, ページ

Vol. 17 pp. 175-181

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: