Piezoelectric Vibration Effect on Plasma CVD by in-situ Optical Reflection Measurement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Piezoelectric Vibration Effect on Plasma CVD by in-situ Optical Reflection Measurement

著者

和文:	D. Haoto, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.
英文:	D. Haoto, M. Sumiya, M. Kawasaki, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Digest of Int'l PVSEC

巻, 号, ページ

pp. 293-294

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: