Pulsed Laser Deposition of Titanium Nitride Thin Films with High Electrical Conductivity

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pulsed Laser Deposition of Titanium Nitride Thin Films with High Electrical Conductivity

著者

和文:	M.B. Lee, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.
英文:	M.B. Lee, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of the 6th Int'l Symp. on Adv. Nuclear energy

巻, 号, ページ

pp. 849-855

出版年月

1994年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: