In-Situ XPS Characterization of Amorphous Multilayer Films Prepared by PPP Interval CVD Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-Situ XPS Characterization of Amorphous Multilayer Films Prepared by PPP Interval CVD Method

著者

和文:	M. Nakano, A. Takano, S. Gonda, M. Yamane, Y. Matsuzaki, M. Kawasaki, H. Koinuma.
英文:	M. Nakano, A. Takano, S. Gonda, M. Yamane, Y. Matsuzaki, M. Kawasaki, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Report of Research Laboratory of Engineering Materials, Tokyo Institute of Technology

巻, 号, ページ

Vol. 15 pp. 115-123

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: