Preparation of Amorphous Multilayer Films bu Pulsed Plasma and Photo (PPP) CVD Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Amorphous Multilayer Films bu Pulsed Plasma and Photo (PPP) CVD Method

著者

和文:	M. Nakano, Y. Matsuzaki, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.
英文:	M. Nakano, Y. Matsuzaki, M. Kawasaki, M. Yoshimoto, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Report of Research Laboratory of Engineering Materials, Tokyo Institute of Technology

巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 101-107

出版年月

1989年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: