In-situ XPS Characterization of Amorphous Semiconductor Hetero-junction Oreoared by Photo and Plasma CVD Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ XPS Characterization of Amorphous Semiconductor Hetero-junction Oreoared by Photo and Plasma CVD Method

著者

和文:	M. Kawasaki, Y. Matsuzaki, T. Ohtani, Y. Yoshida, H. Koinuma.
英文:	M. Kawasaki, Y. Matsuzaki, T. Ohtani, Y. Yoshida, H. Koinuma.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of 20th SSDM

巻, 号, ページ

pp. 471-474

出版年月

1988年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: