パルスプラズマ・光CVD法によるアモルファス超格子の作製と界面の構造 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルスプラズマ・光CVD法によるアモルファス超格子の作製と界面の構造
英文:

著者

和文:	鯉沼秀臣, 川崎雅司, 松崎良雄.
英文:	鯉沼秀臣, 川崎雅司, 松崎良雄.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会、光・量子デバイス研究会資料
英文:

巻, 号, ページ

Vol. OQS-88-55 pp. 45-52

出版年月

1988年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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