Development of Three-Dimensional Motion Convert Micromachines with Large Deflective Elastic Hinges based on Bulk and Surface Micromachining  Techniques

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Three-Dimensional Motion Convert Micromachines with Large Deflective Elastic Hinges based on Bulk and Surface Micromachining Techniques

著者

和文:	Mikio HORIE, Daiki KAMIYA, Takuji HAYAMA, Kozo IKEGAMI.
英文:	Mikio HORIE, Daiki KAMIYA, Takuji HAYAMA, Kozo IKEGAMI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advances in Information Storage Systems

巻, 号, ページ

Vol. 10 pp. 357～368

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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