Electrostatic Comb-drive Actuators made of Polyimide for Actuating Micromotion Convert Mechanisms

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrostatic Comb-drive Actuators made of Polyimide for Actuating Micromotion Convert Mechanisms

著者

和文:	Daiki KAMIYA, Takuji HAYAMA, Mikio HORIE.
英文:	Daiki KAMIYA, Takuji HAYAMA, Mikio HORIE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. of Microsystem Technologies

巻, 号, ページ

Vol. 5 pp. 161～165

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: